module de transfert des tranches
- module de transfert des tranches
- plokštelių perkėlimo modulis
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. wafer handling module
vok. Waferhandhabungsmodul, m
rus. транспортный модуль для пластин, m
pranc. module de transfert des tranches, m
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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